URE-2000B 型紫外单面光刻机
1．技术参数
。曝光面积：100mmX100mm
。曝光波长：365nm
。分辨力：0.8μm（胶厚 2μm 的正胶）
。对准精度：± 0.6μm
。掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。样片尺寸：直径 ± 15mm--± 100mm（各种不规则片）
厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
。照明不均匀性： 2.5%（±100mm 范围）
。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍物镜 3 对：4 倍、10 倍、20 倍； 目镜 3 对：10 倍、16 倍、20 倍
。调平接触压力通过传感器保证重复
。数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口，也具备接近模块接口15
。掩模相对于样片运动行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; Thellta: ±6 度
。焦厚：600μm（SU8 胶，用户提供检测条件）
。光源平行度：1.2º
。曝光能量密度：>20mW/cm
。汞灯功率：1000W（直流，进口）
2．外形尺寸：1400mm（长）1200mm(宽) 1950mm（高）
3．配置
（1）曝光头
。冷光椭球镜
。XYZ 汞灯调节台
。冷却风扇
。1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗)
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
（2）对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构,自动完成
。样片自动调焦机构
。承片台 4 个（15mm 、2 英寸、3 英寸、4 英寸）
。掩模夹 4 个（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
。基片抽拉式上下机构
（3）对准显微镜及 CCD 对准系统
。光源、电源
。双目双视场对准显微镜主体
。目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
。物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）
。CCD
。21 英寸液晶显示器
（4）电控系统
。汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)16
。单片机控制系统
。控制柜桌
（5）气动系统
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪
（6）其他附件
。真空泵一台（无油泵）
。空压机一台（*泵）
。管道
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