太阳能离子注入机测距仪

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公司名称东莞帕萨电子装备有限公司
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厂商性质其他
更新时间2023/9/8 9:50:24
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东莞帕萨电子装备有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业半导体工艺设备生产厂家，是中国电子工业基础装备的重点骨干企业。公司主要产品有：半导体技术专用工艺设备，电子元器件专用工艺设备，集成电路工艺设备，太阳能电池片专用工艺设备，LED工艺设备，砷化镓工艺设备，纳米材料工艺设备，磁性材料工艺设备，航空航天及国家单位专用的特殊定制工艺设备，防水工艺设备等，产品种类多达一百多个。东莞帕萨电子装备有限公司技术力量雄厚，各类专业技术人员齐全，专业设计工程师20名，其中机械设计工程师12名，电气工程师8名，工艺工程师2名，所有工程师具有本科以上学历，主要设计工程师在半导体非标设备开发领域具有10年以上经验。东莞帕萨电子装备有限公司具有自主研发、设计和生产各种产品的能力。经过几年的努力，公司已成为专业制造太阳能电池片工艺制造设备，集成电路工艺制造设备，LED工艺制造设备，研究所、高校、航空航天及国家单位专用的工艺设备的重点企业。东莞帕萨电子装备有限公司专注绿色能源技术及产品研究和开发，拥有一支多学科交叉、梯队合理、年富力强的研究团队。东莞帕萨电子在半导体、工业炉、太阳能及防水等领域具有独立的自主知识产权和技术，并不断开拓创新，勇攀高峰，努力成为行业的者。

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太阳能离子注入机功能太阳能离子注入机用于太阳能电池片的掺杂工艺，离子注入后形成电池片发电核心-PN结

太阳能离子注入机测距仪产品信息

太阳能离子注入机功能
太阳能离子注入机用于太阳能电池片的掺杂工艺，离子注入后形成电池片发电核心-PN结。将离子注入引入太阳能工艺中，可有效提高电池片的均匀性，从而提高转换效率至少1%。

太阳能离子注入机主要经济技术指标对比

	东莞帕萨（Simplant）	瓦里安（Solion)
离子种类	B+,P+	P+
能量	5-40keV	10--20keV
束流强度	B+:70mA P+:120mA	P+:80mA
注入均匀性	＞98%	＞97%
单机产能	3000片/小时	1000片/小时
体积（长×宽×高）	6×5×3米	9.7×5.2×2.6米
综合制程成本	＄0.03/片	＄0.1/片

太阳能电池片离子注入机的特点
离子注入与传统热扩散相比较，具有如下特点：
◆注入硅片的离子剂量可以精确控制。使用离子注入机掺杂，剂量可以精确到离子的个数，这样可以形成高品质的PN结，这是传统热扩散*没能力做到的；
◆注入硅片的深度可以精确控制。离子注入机可以自由调节束能的大小，这可以调节离子的动能从而达到调节注入的深度。传统热扩散主要靠温度和时间来控制注入离子的深度，属于模糊控制；
◆高的光电转化率。离子注入机可以与传统热扩散相比可以提升电池1.5%-3%的光电转化率；
◆高均匀性：离子注入机由于可以控制束流的均匀性，对于硅片方块电阻的均匀性能够精确控制，使方阻均匀性更好。

主要优势：
◆大束流：可以做到120mA（P+）以上。
◆B+和P+注入：相对市场上其他家的太阳能离子注入机目前只能注入P+离子，太阳能离子注入机也可以注入大束流的B+离子，满足不同客户的不同需求。
◆束流利用率：研发的太阳能离子注入机束流利用率可以达到95%。
◆束流均匀性：研发的太阳能离子注入机束流均匀度可以达到98%以上。
◆高产能：目前在市场上投入使用的太阳能离子注入机离子注入机的产能为1000片/小时左右（以Varian公司的Solion为例），这会对光伏电池生产线的产能造成很大的限制，直接影响电池片厂家的利润。研发的太阳能离子注入机设计产能将达到3000片/小时。
◆制程成本低廉：使用太阳能离子注入机，可以使离子注入机的综合制程成本控制在约RMB 0.3元/片。