特殊气体供应系统

特气系统主要包括气源供应(特气柜、BSGS)、特气分配(VMB)、特气输送(管道阀门等)、工艺过程控制(PLC自动控制器)、以及气体泄漏侦测、尾气处理等主要模块。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体，通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet) 内，再通过管路将气体供应至现场附近的阀箱 (VMB, Valve Manifold Box) ，而后再进入制程机台的使用点 (POU, Point of Use) ，于进入机台腔体之前，会有独立的气体控制盘 (GB, Gas Box) 与制程控制模块联机，以质流控制 器 (MFC, Mass Flow Controller) 进行流量之控制与进气的混合比例控制，一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架 (Gas Rack) 与阀盘 (VMP, Valve Manifold Panel) 进行供应。