FF-1600 复合分子泵
产品外观 |
产品简介 |
FF型复合分子泵广泛地应用于光谱仪器、电子显微镜、检漏仪、表面物理和分析仪器、质谱仪;真空镀膜行业、显像管生产、半导体制造业、等离子刻蚀等领域。
性能特点 |
- 1.高极限真空
- 的整体加工转子,可运转于更高的工作转速,提高了泵的极限真空。
- 2.大抽速
- 复合分子泵是由涡轮级和牵引级复合而成,从而提高了泵的抽速。
- 3.高压缩比
- 转子的螺旋槽式牵引级使泵具有高的压缩比和耐粉尘能力。
- 4低噪音
- 采用高精度球轴承,动平衡好,对轴承的磨损小,轴承寿命长,整机振动小,噪音低。
- 5.清洁无油
- 分子泵是靠动叶片和定叶片的相对运动抽除、拖动、传输气体分子排出,因此可获得清洁无油的高真空和超高真空。
- 6.节能
- 由于整体转子比分体转子轻,因此电机负载小,消耗功率小,可以运行更高的转速。
用途 |
主机 | |
进气口通径 | DN250mm |
排气口通径 | KF40mm |
抽气速率 | 1600L/s |
极限压强 | 5×10-7Pa (金属密封) 5×10-6Pa (橡胶密封) |
相关参数 |