Model | M3300V | M3300A |
流量范围(N2) | 100slpm ~ 300slpm | 100slpm ~ 300slpm |
响应时间 | <2>2> | <2>2> |
精准度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
重复精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
输入/输出信号 | 0~5 Vdc | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
供电电源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
耐压 | <15>15> | <15>15> |
工作环境温度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
使用范围 | 2 ~ 99% | 2~ 99% |