罗茨真空泵又称机械增压泵，是一种容积式干式真空泵，是目前获得中、高真空的主要抽气设备之一，其工作原理与罗茨鼓风机相似，是利用两个8字形转子在两个半圆形的泵腔内作同步反向转动，从而完成吸气和排气的过程。该泵不能单独使用，必须与前级泵(如螺杆泵、水环泵等)串联使用。罗茨泵的极限压力由前级泵决定，表中数据是以螺杆真空泵为前级泵时的极限压力。
罗茨泵特点:
1、高压缩比：转子采用宽头部型线，密封带宽，获得高压缩比。能在很宽的压强范围内(1~1x10^Pa)有较大的抽速。
2、清洁环保：泵腔无油，侧盖采用密封，避免了油蒸汽污染真空系统。
3、运行高可靠性：轴封，避免被抽介质进入轴承腔，造成润滑油乳化失效。
4、低振动:转子作G1级动平衡，振动小，噪声小。
5、整体无定位销组合，O形密封圈密封，易于维护和维修，费用低，寿命高。
6、高标准配置：进口轴承、5级齿轮、德标联轴器，可抽除可凝性气体。
7、不可单独使用，必须配置前级泵。
建议:罗茨真空泵长期工作时，视规格大小，进出口压差控制在15~20Torr之间。
ZJ、ZJP型泵性能基本参数表
| 型 号 | 极限压力 | 抽气速率(L/s) | 溢流阀压差或允许压差(HPa) | 进气口径(mm) | 排气口径(mm) | 配用功率(Kw) | 推荐配用前级泵 | |
| Pa | Torr | |||||||
| ZJ-200 | 5×10–1 | 4×10–3 | 200 | 80 | 100 | 100 | 3 | LGB80、LG55 |
| ZJ-300 | 5×10–1 | 4×10–3 | 300 | 60 | 150 | 100 | 4 | LGB110、LG120 |
| ZJ-600 | 5×10–1 | 4×10–3 | 600 | 50 | 200 | 150 | 7.5 | LGB150 |
| ZJ-1200 | 5×10–2 | 4×10–4 | 1200 | 50 | 250 | 200 | 11 | ZJ-300/LGB150 |
| 5×10–1 | 4×10–3 | LGB300 | ||||||
| ZJ-5000 | 1×10–2 | 8×10–5 | 5000 | 50 | 400 | 320 | 45 | ZJ-1200/ZJ600/LGB300 |
| ZJP-600 | 5×10–1 | 4×10–3 | 600 | 50 | 200 | 200 | 5.5/7.5 | LGB150 |
| ZJP-1200 | 5×10–2 | 4×10–4 | 1200 | 50 | 250 | 200 | 11/15 | ZJ-300/LGB150 |
| ZJP-2500 | 5×10–2 | 4×10–4 | 2500 | 30 | 320 | 250 | 18.5/22 | ZJ-600/LGB220 |
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