AFM5500M 专用原子力显微镜工作站选配项：SEM-AFM联用系统大范围水平扫描采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。AFM5500M搭载了研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。高精角度测量普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk） ，可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。
AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察・分析。
参数规格：
AFM5500M 主机
| 马达台 | 自动精密马达台 观察范围：100 mm （4英寸）全域 马达台移动范围：XY ± 50 mm、Z ≥21 mm 最小步距：XY 2 µm、Z 0.04 µm |
|---|---|
| 样品尺寸 | 直径：100 mm（4英寸）、厚度：20 mm 样品重量：2 kg |
| 扫描范围 | 200 µm x 200 µm x 15 µm （XY：闭环控制 / Z：感应器监控） |
| RMS噪音水平* | 0.04 nm 以下（高分辨率模式） |
| 复位精度* | XY: ≤15 nm(3σ、计量10 μm的标准间距) / Z: ≤1 nm (3σ、计量100 nm 的标准深度) |
| XY直角度 | ±0.5° |
| BOW* | 2 nm/50 µm 以下 |
| 检测方式 | 激光检测（低干涉光学系统） |
| 光学显微镜 | 放大倍率：x1 ～ x7 视野范围：910 µm x 650 µm ～ 130 µm x 90 µm 显示倍率：x465 ～ x3,255（27英寸显示器） |
| 减震台 | 台式主动减震台 500 mm（W） x 600 mm （D） x 84 mm （H）、约28 kg |
| 防音罩 | 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 约 237 kg |
| 大小・重量 | 400 mm（W） x 526 mm（D） x 550 mm（H）、约 90 kg |
* 参数与设备配置及放置环境相关。
| OS | Windows7 |
|---|---|
| RealTune®II | 自动调节悬臂振幅、接触力、扫描速率以及信号反馈 |
| 操作画面 | 操作导航功能、多窗口显示功能（测试/分析）、3D图像叠加功能、扫描范围/测量履历显示功能、数据批处理分析功能、探针评估功能 |
| X, Y, Z扫描驱动电压 | 0～150 V |
| 时时测试（像素点） | 4画面（2,048 x 2,048） 2画面（4,096 x 4,096） |
| 长方形扫描 | 2:1、4:1、8:1、16:1、32:1、64:1、128:1、256:1、512:1、1,024:1 |
| 分析软件 | 3D显示功能、粗糙度分析、截面分析、平均截面分析 |
| 自动控制功能 | 自动更换悬臂、自动激光对中 |
| 大小・重量 | 340 mm（W） x 503 mm（D） x 550 mm（H）、约 34 kg |
| 电源 | AC100 ～ 240 V ±10% 交流 |
| 测试模式 | 标配：AFM、DFM、PM（相位）、FFM 选配：SIS形貌、SIS物理特性、LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM（AC）、EFM（DC）、MFM |
* WINDOWS 是、美国 Microsoft Corporation 在美国及美国以外国家注册商标。
* RealTune是日立高新科学公司在日本、美国以及欧洲的注册商标。
| 可适用的日立SEM型号 | SU8240、SU8230（H36 mm型）、SU8220（H29 mm型） |
|---|---|
| 样品台大小 | 41 mm（W） x 28 mm（D） x 16 mm （H） |
| 样品尺寸 | Φ20 mm x 7 mm |
| 对中精度 | ±10 µm （AFM对中精度） |
产品特点：
1. 自动化功能
降低检测中的人为操作误差
4英寸自动马达台 自动更换悬臂功能
2. 可靠性
排除机械原因造成的误差
Sample ：Amorphous silicon thin film on a silicon substrate
Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
* 使用AFM5100N（开环控制）时
3. 融合性
亲密融合其他检测分析方式
通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察・分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。
SEM-AFM在同一视野观察实例（样品：石墨烯/SiO2）
The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.
上图是AFM5500M拍摄的形状像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。
石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。
今后计划与其他显微镜以及分析仪器的联用。
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