残余气体分析仪（RGA）四极杆质谱

PrismaPlus 四级杆质谱

PrismaPlus™ 的创新

有着新亮点的高性能质谱仪！模块化设计，功能强大的软件，宽广的应用范围。

高灵敏度，高稳定性和智能化操作的结合是我们新质谱仪所增加的新亮点--真正的创新！它的模块化设计为您提供了宽广的应用选择范围，例如：工业和分析领域，研发，检漏，半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlus是从质量保证，残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的方案。

Quadera® 软件是另一个新的亮点。它不仅操作简单，而且还提供了捕获和观察所有测试数据以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的界面接口，例如以太网，数字式和模拟式输入输出，可以方便地集成到各种系统中去。我们的专业服务随时准备为您在PrismaPlus™的应用方面提供帮助。多年的客户服务和产品应用经验使得我们能够成为您的合作伙伴。

在气体分析方面的新亮点！

优点一览

模块化设计提供了产品适应性

结构紧凑，性能出众

多种界面接口，系统集成简单

可通过以太网网络化

测试过程快速稳定，解析度高

分析器以及电子的可替换性

双灯丝设计保证的可靠性

的可检测分压达 1x10^-14 mbar

可连接普发公司的全压真空规

Quadera®软件操作直观

技术支持和现场服务

应用范围

PrismaPlus™非常适合于检漏，残气分析以及综合定量分析：

冶金

真空炉

加速器

溅射工艺分析

半导体生产

玻璃镀膜

研发

真空工艺系统

技术参数

HiCubeRGA 技术参数

产品尺寸

在线质谱分析仪 OmniStar^TM/ThermoStar^TM

全新的气体分析系统

模块化设计智能化软件

多样化应用

现在质谱分析已经成为鉴别化学成分和化合物的泛的分析方法之一。随着新的OmniStar和ThermoStar台式分析系统推向市场，普发真空为您提供了两款优化的、完整的气体分析方案，特别适用于化工、半导体工业、冶金、发酵、催化、激光技术和环境分析等领域。

产品优点

气体定性和定量分析，具有标定气体进入系统的连接端口

检测极限低（< 1 ppm），甚至适用于冷凝气体

集成设计、操作简单

耐高温的毛细管进样，可达到350°C

系统可烘烤全金属气密高真空室，降低水分背景

密闭离子源和场轴技术，产生的灵敏度

借助于谱图数据库可靠地识别未知气体

可同时分析128个质量数

质量范围 1-100 amu, 1-200 amu 和 1-300 amu

进样压力应用范围可由真空到大气压

可选各种压力调节进样系统

快速、可靠、精确地分析共价惰性气体

应用领域

化工

半导体工业

冶金

发酵

催化

激光技术

 环境分析

燃料电池分析

技术