HiPace 10 - 800
抽速等级在10-800 L/s 的 紧凑型
球轴承或复合轴承涡轮分子泵
产品优势
1. 抽速从10-800升/秒的全系列产品
2. 稳健性工业设计（Robust Design）和经过实践证明的高可靠性轴承系统
3. 经凑型结构以满足更小的物理空间安装需求
4. 高气流量和高抽速
5. 可任意角度安装
6. 防护等级IP54符合工业环境应用要求
7. 可以用于腐蚀性气体工况
8. SEMI S2和UL认证
9. 可现场更换轴承
HiPace 1200-2300
抽速等级在1000 - 2000 L/S 的紧凑型
复合轴承涡轮分子泵
产品优势：
1. 四种抽速，抽速为自1000 至 2300 l/s
2. 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速
3. 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 耐粉尘
4. 高气流量，即使对于分子量较大的气体
5. 集成的TC 1200驱动单元，可直接连接一般电源
6. 耐腐蚀
7. 带节气阀门的集成密封气体系统
8. 标准接口界面：RS-485 以及远程控制；Profibus或者DeviceNet 可供选择
9. 符合 IP54 防护标准，适用于工业应用环境
10. 符合 Semi S2 规范
11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 认证
HiPace 300 - 800M,ATH 500 M
抽速等级在300 - 800 L/S 的紧凑型
磁悬浮涡轮分子泵
产品优势：
1. 安装简便
2. 任意角度安装
3. 集成控制器
4. 无润滑油的磁轴承技术
5. 对所有过程气体都能实现高气流量
6. 地震动及低磁场干扰
7. 动平衡自动补偿
8. 转速范围大
9. 出色的稳定性和可靠性
ATM 1600 - 3200 M, ATP 2300 M
抽速等级在1400 - 2800 L/S 的紧凑型
磁悬浮涡轮分子泵
产品优势：
1. 无润滑油的磁轴承技术
2. 对所有过程气体都能实现高气流量
3. 出色的稳定性和可靠性
4. 更好的前级泵兼容性
5. 气体进入稳定性高
6. 免维护低成本保养费
7. 转速可选范围大，适合定制化工艺需求
8. 极低的噪音和震动
9. 任意角度安装
10. 磁轴承技术现实转子实时监控
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