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开启式管式炉PECVD系统

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称河南顺博热处理设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号S-1200K-CVD
  • 所  在  地郑州市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/12/22 11:49:46
  • 访问次数192
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河南热处理设备有限公司是一家专业从事热处理产品的研发、生产、制造、销售、服务于一体的企业。公司产品涵盖箱式炉、高温管式炉、气氛炉、箱式马弗炉、CVD系统、PECVD设备、牙科炉、升降炉、真空炉、定制炉型等,广泛用于粉末冶金、真空钎焊、陶瓷烧结、新能源材料研发、金属光亮处理、零部件退火、科学研究等多个领域。多年来公司坚持以客户需求为导向,致力于不断提高产品品质和完善技术服务,凭借过硬的技术、丰富的实践积累,先后研发出了一系列具有水准的实验电炉和工业炉。电炉拥有完整、科学的质量管理体系,标准化的生产制造车间,具有年产1000台电炉生产制造能力,生产规模位居,是国内具有影响力的实验电炉、工业炉生产制造商。公司目前有一线员工百余人,多名专业热工技术工程师和设计制造工程师, 并联合多所重点科研院校共同建立了多个技术研发项目,为每一位客户提供高技术含量的产品解决方案和优质的服务是电炉所有人的神圣职责!
真空马弗炉
开启式管式炉PECVD系统由高温管式炉,真空压强控制系统,多通道高精度数字质量流量控制系统,过压保护及冷凝等部分组成,可实现真空达0.1mbar混合气体化学气相沉积和扩散试验。
开启式管式炉PECVD系统 产品信息
功能特点:
在真空压力下,加在电感线圈的射频电场,使反应室气体发生辉光放电,在辉光发电区域产生大量的电子。这些电子在电场的作用下获得充足的能量,其本身温度很高,它与气体分子相碰撞,使气体分子活化。它们吸附在衬底上,并发生化学反应生成介质膜,副产物从衬底上解吸,随主气流由真空泵抽走,称为等离子体增强化学气相沉(PECVD)
产品用途:
PECVD开启式管式炉系统由开启式管式炉、高真空分子泵系统、射频电源系统及多通道高精度数字质量流量控制系统组成,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择。
适用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备,生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用
产品参数
  • 控温方式:采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序。
  • 加热元件:0Cr27Al7Mo2
  • 工作电源:AC220V 50Hz/60Hz
  • 额定功率:4kw
  • 炉管材质:高纯石英管
  • 炉管尺寸:Φ60/Φ80*1200mm
  • 工作温度:≤1150℃(可定制)
  • 温度:1200℃(可定制)
  • 恒温精度:±1℃
  • 恒温区:200mm(可定制)
  • 升温速度:≤10℃/min
  • 密封方式:不锈钢快速法兰挤压密封
  • 极限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 产品配置:双级旋片真空泵+分子泵
  • 测量方式:复合真空计
  • 真空规管:电阻规+电离规
  • 冷却方式:风冷
  • 抽速:110L/S
  • 射频电源系统
  • 射频功率输出范围:5~500W
  • 射频频率:13.56MHz±0.005%
  • 噪声:≤55DB
  • 冷却方式:风冷
  • 功率温定度:± 0.1%
  • 混气系统流量规格:0-200sccm (可根据客户需要配置)
  • 线性:±1.5%F.S
  • 准确度:±1.5%F.S
  • 重复精度:±0.2%F.S.
  • 响应时间:≤8sec
  • 耐压:3MPa
  • 气路通道:4通道(根据客户需求)
  • 针阀:316不锈钢
  • 管道:Φ6mm不锈钢管
  • 接口:SwagelokΦ6mm
关键词:真空泵
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