刻槽宽度 | 10-30μm, ±2μm |
刻槽深度 | 20-60μm, ±2μm |
刻槽速度 | 2000mm/s |
工作台平整度 | ±10μm |
工作台重复定位精度 | ±10μm |
工作台行程 | 1200mm×400mm, 可根据需求定制 |
额定输入电压 | 三相, AC 380V, 50 Hz / 60 Hz |
zui大输入功率 | 8 kW |
尺寸 | 2600mm×1800mm×1400mm |
净重 | 3500 Kg |
冷却方式 | 水冷 |