| 型号 |
| FJ-620C | FJ-620F | FJ-700 |
| 进气口法兰 Flange（In） |
| DN100 ISO-K | DN160 ISO-K | DN160 ISO-K |
| DN160 CF | DN160 CF | DN160 CF | ||
| DN160 ISO-K | DN160 ISO-K | DN160 ISO-K | ||
| 排气口法兰 Flange（Out） | ISO-KF | DN40 | DN40 | DN40 |
| 抽速速率 Pumping Speed | l/s | N2：600 | N2：600 | N2：700 |
| He：380 | He：380 | He：580 | ||
| H2：240 | H2：240 | H2：260 | ||
| Ar：580 | Ar：580 | Ar：680 | ||
| 压缩比 Compression Ratio |
| N2：109 | N2：109 | N2：109 |
| He：104 | He：105 | He：107 | ||
| H2：103 | H2：104 | H2：106 | ||
| Ar：109 | Ar：109 | Ar：109 | ||
| 极限压强 Ultimate Pressure | Pa | CF：6×10-7 ISO-K：6×10-6 | CF：6×10-8 ISO-K：6×10-7 | CF：6×10-8 ISO-K：6×10-7 |
| 建议启动压强 recommended forevacuum pressure | Pa | 100 | 100 | 100 |
| 前级泵型号 forevacuum pump |
| RV6（ default ） | RV6（ default ） | RV6（ default ） |
| 冷却方式 Cooling Type,Standard |
| 水冷 | 风冷 | 水冷、风冷 |
| 冷却水流量 Cooling Water Consumpyion | L/min | >1 | >1 | >1 |
| 冷却水温度 Cooling Water Temperature | ℃ | ≤25 | ≤25 | ≤25 |
| 输入电压频率 Input voltage/ frequency | V/Hz | 380±20/50 | 380±20/50 | 380±20/50 |
| 环境温度（℃）Environment temperature | 水冷方式 | 5℃-40℃ | ||
| 风冷方式 | 5℃-32℃ | |||
| 安装方式 mounting position |
| 垂直 Vertical | 垂直 Vertical | 垂直 Vertical |
| 适配电源型号Controller Model |
| FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ | FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ | FD-ⅡB/TCDP-Ⅱ |
| 长×宽×高 L*W*H （高=地面-过渡腔电离规处） | mm | 550×690×956（LF口） 550×690×970（CF口） | 550×690×956（LF口） 550×690×970（CF口） | 550×690×850(水冷) 550x690x915（风冷） |
| 重量 Weight | kg | 117 | 117 | 135 |
①选配干泵，具体型号咨询销售人员 Dry pump on request
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