XSE FFU：
FFU为英文缩写，全称为 Fan Filter Units, 中文意思为“风机滤网单元”。确切地说是一自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。风机从FFU顶部将空气吸入并经HEP过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。
FFU工作时间长，低噪声、免维护、震动小、可无级调速或分档调速，风速均匀，安装方便等。FFU可模块化连接使用，使得FFU广泛应用于无尘室、无尘操作台、无尘生产线、组装式无尘室和局部百级等应用场合。
可订制各种特殊规格尺寸,箱体可按客户要求选择冷板静电喷涂材质、不锈钢材质及镀铝锌板材质。
FFU具有特点
灵活性：因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
第二可再利用性：从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三负压通风：这是FFU的特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。
第四缩短建设周期：使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。
第五减少运行成本：虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。
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