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分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3

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具体成交价以合同协议为准

公司名称大塚电子（苏州）有限公司
品牌
型号
所在地苏州市
厂商性质生产厂家
更新时间2024/10/15 8:03:14
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公司介绍主营产品

　　大塚电子（苏州）有限公司主要销售用于光学特性评价・检查的装置。其装置用于在LED、 OLED、汽车前灯等的光源・照明产业以及液晶显示器、有机EL显示器等平板显示产业以及其相关材料的光学特性评价・检查。

　　以高速・高精度・高可靠性且有市场实际应用的分光器MCPD系列为基础，在中国的显示器市场上有着20年以上销售实例，为许多厂家在研究开发、生产部门所使用。并且在光源・照明相关方面，对研究机构、各个厂家的销售量在逐步扩大。

　　在中国的苏州有设立售后服务点，为了能迅速且周到的为顾客服务而努力。

　　我公司的母公司日本大塚电子集团，隶属于大冢集团，一直以来都谨守大冢集团的企业理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢为人类的健康创造革新的产品)，不断的推出创新产品，为社会作出贡献。

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纳米粒度仪，Zeta电位仪，膜厚仪

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即时检测 WAFER基板于研磨制程中的膜厚玻璃基板于减薄制程中的厚度变化 (强酸环境中) 产品特色非接触式、非破坏性光学式膜厚检测采用分光干涉法实现高度检测再现性可进行高速...

分光干涉式晶圆膜厚仪 SF-3 产品信息

动画

即时检测

WAFER基板于研磨制程中的膜厚

玻璃基板(强酸环境中)于减薄制程中的厚度变化

产品特色

●非接触式、非破坏性光学式膜厚检测
●采用分光干涉法实现高度检测再现性
●可进行高速的即时研磨检测
●可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测
●可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中
●体积小、省空間、设备安装简易
●可对应线上检测的外部信号触发需求
●采用膜厚检测的独自解析演算法。(已取得)
●可自动进行膜厚分布制图(选配项目)

规格式样

	SF-3
膜厚测量范围	0.1 μm ~ 1600 μm※1
膜厚精度	±0.1% 以下
重复精度	0.001% 以下
测量时间	10msec 以下
测量光源	半导体光源
测量口径	Φ27μm※2
WD	3 mm ~ 200 mm
测量时间	10msec 以下