抛光液供液供酸系统

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设备功能

1.提供抛光液和表面活性剂供应缓存桶，从而保证设备工艺流量稳定；

2.提供温度，PH值控制，以满足抛光设备的工艺需求；

3.满足stock slurry循环使用需求；

特点：

1.所有Tank箱体采用SUS304框架+米黄PVC 保管，需配置排气，排液，排漏以及漏液检测报警。

2.Tank材质采用NPP或PVDF以上，管道使用PFA，选用材料对slurry无颗粒和金属污染(包括Pump内部与Slurry接触部分)；

3.Stock slurry tank配置chiller(ORION CHILLER)和heater，

4.Tank内的 Slurry 以及Surfactant处于常时循环状态， 供应设备管路末端有压力表；

5.为检测Tank内 Slurry 以及Surfactant的容量(Level)， 配置***个**液位传感器；

6.所有Tank配置水枪，同时slurry桶上部能开启，以方便冲洗Tank。

7.所有的 Tank内要配置温度和PH sensor，同时需要将数据同步传送给设备主机；

8.Tank使用控制面板进行显示和操作控制。

供液泵使用磁力泵或磁浮泵，满足现场实际扬程，流量等能力需求。

9. 每个tank外部供应管路配置有自动配送阀并由设备自我控制。

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