旋涂机原理：
旋涂机（spin coater）是一种薄膜制备设备。
在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，在离心力
作用下，使胶液均匀地涂覆在基片表面上形成均
匀的薄膜。广泛应用于微电子、半导体、新能源、
化工材料、生物材料、光学，硅片、载玻片，晶片，
基片，ITO 导电玻璃等工艺制版表面涂覆等。
具体应用领域：
◆ 半导体器件制备：制备晶体管、太阳能电池、光伏器件等半导体器件的电极、介质和敏感层材料。
◆ 光电子器件制造：制备液晶显示器、OLED 显示器、LED 器件等光电子器件的薄膜材料。
◆ 生物医学传感器制造：生物医学传感器的敏感材料，如蛋白质、DNA 和细胞等。
◆ 纳米材料制备：制备纳米粒子、纳米线和纳米薄膜等材料，其制备过程对材料结构和形貌具有一定的控制作用。
产品特点
◆ 采用闭环控制伺服电机，数字式增速信号反馈，速匀准确，寿命长，保证匀胶均匀。
◆ 7 寸全彩中英文互动操作触摸屏，智能程序化可编程操控显示，标配 10 个匀胶梯度阶段（速度和时间梯度设置），可
选配 20 个可编程程序，每个程序下可设置 10 个匀胶梯度阶段，最多 100 个阶段。
◆ 内置水平校准装置，限度的保证旋涂均匀，可对大小不同规格的基片进行旋涂。
◆ 多重安全保护
电磁安全开关，盖子打开卡盘停止，保证安全；
盖子自锁功能，防止飞片盖开伤人；
双重安全上盖，聚四氟嵌镶钢化玻璃，避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人，限度保证实验人员安全。
◆ 样品托盘卡口和样品托盘之间三重密封安全保护，有效降低电机进胶的风险。
◆ 一机两用，根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂方式。
◆ 符合人体功能学的水平取放样品旋涂托盘设计，取放样品更方便。
◆ 不锈钢喷塑涂层旋涂壳体，旋涂腔体采用 PTFE 材料。旋涂托盘采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸碱防腐蚀，保证仪器
在苛刻条件下仍能正常运行。
◆ 上下双腔体设计，较大的上腔体便于擦拭去除胶液，锥形下腔体结构设计便于收集胶液，并带废胶收集装置。
◆ 可选氮气吹扫、氮气保护，自动滴胶或简易滴胶装置，提供更多的操作便利性。
◆ 适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs，GaN，InP 等多种材料。
技术参数
型号
MSC
SC1
SC2
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