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表面刻蚀-等离子刻蚀机

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  • 公司名称山东普尔晟仪器有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地青岛市
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间2025/4/27 8:13:13
  • 访问次数35
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山东普尔晟仪器有限公司是一家设在美丽的海滨城市青岛的科技公司,一家集研发、销售及服务为一体的企业

公司成立以来得到国家重点院校及国内外仪器领域专家的支持。产品以实验室仪器及实验室常用辅助仪器为主,服务科研、教育、环境保护、卫生防疫、食品药品、材料、制药等领域。同时,普尔晟仪器还与国内外色谱 、光谱、质谱、前处理等厂商展开合作,可以更高效的为实验室客户提供完整解决方案,让实验室筹备和扩项工作更为轻松、高效。

普尔晟仪器一直以“科技便利生活 创新开启未来”的理念,致力于解决客户实验室想更便捷更高效的工作效率问题。专注于科学仪器智能制造。

实验前处理仪器设备,专注实验室仪器智能制造。食品二氧化硫残留量蒸馏仪、全自动智能一体化蒸馏仪、智能一体化蒸馏仪、自动液液萃取仪 、智能COD石墨回流消解仪 实验室超纯水机、冷却循环水机、全自动顶空进样器、自动热解析仪等
应用领域:主要用于微电子芯片、太阳能电池、生物芯片、显示器、光学、通讯等领域的器件研发和制造
表面刻蚀-等离子刻蚀机 产品信息

应用领域:

主要用于微电子芯片、太阳能电池、生物芯片、显示器、光学、通讯等领域的器件研发和制造。

RIE反应离子刻蚀机,采用RIE反应离子诱导激发方式,实现对材料表面各向异性的微结构刻蚀。特别适合于大学、科研院所,微电子、半导体企业实验室进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀等方面研究。使用成本低,性价比高,易维护,处理快速高效。适用于所有的基材及复杂的几何构形进行RIE反应离子刻蚀。具体包括:

u 介电材料(SiO2、SiNx等)

u 硅基材料(Si,a-Si,poly Si)

u III-V材料(GaAs、InP、GaN等)

u 溅射金属(Au、Pt、Ti、Ta、W等)

u 类金刚石(DLC)      


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