LCD 面板制程用工业冷水机

LCD 面板制程用工业冷水机专为 TFT-LCD、OLED、Mini LED 等显示面板生产设计，提供 - 20℃~+50℃宽温域精准控温（光刻胶冷却 23±0.1℃，液晶注入 18±0.2℃），控温精度达 ±1℃，动态响应速度≤8 秒。设备采用智能 PID + 模糊算法与动态热补偿系统，集成 316L 不锈钢全密闭循环管路与钛合金蒸发器，可模拟光刻、蚀刻、液晶注入、固化等全流程温度需求，解决传统设备温控滞后、洁净度不足、能耗高等问题，帮助客户实现面板良率提升 5%、缺陷率降低 30%、产能提高 20% 的核心价值。

行业应用与解决方案

1. 光刻工艺场景

• 低温精密控制：
  23±0.1℃恒温控制，某面板厂的光刻胶曝光精度从 ±50μm 提升至 ±10μm，满足 OLED 微显示屏生产需求。

• 水质净化模块：
  可选配 RO 反渗透净水系统，某企业的冷却水电导率波动从 ±5μS/cm 缩至 ±1μS/cm，光刻胶残留率降低 60%。

2. 蚀刻工艺场景

• 动态温度补偿：
  18±0.2℃动态控温，某企业的玻璃基板蚀刻均匀性从 ±8% 提升至 ±2%，蚀刻速率稳定性提高 50%，符合 GB/T 17719-2013 标准。

• 防腐蚀设计：
  钛合金蒸发器与全氟醚密封件，某企业在含硝酸的蚀刻液中设备寿命从 1 年延长至 8 年，维护成本降低 70%。