溅射薄膜压力传感器

溅射薄膜压力传感器
PTG200溅射薄膜压力传感器其利用离子束溅射薄膜技术结合*的微电子工艺技术制造而成的不锈钢弹性膜片。离子束溅射在电阻合金材料上，在膜片上制作了组成惠斯登电桥的合金薄膜应变电阻，膜片变形使电阻的几何尺寸和阻值发生改变,电桥输出相应电信号。薄膜应变电阻与弹性体“融”为一体,组成全金属型敏感元件,无任何粘贴剂和紧固件, 可*在-40～125℃工作温度下稳定工作。

应用于航空、航天、交通、水利、电力、工程机械、汽车制造、船舶制造、石油化工、冶金制造、医疗设备、食品加工等多种自控和测量行业。

主要技术参数：
被测介质： 气体,液体及蒸气
压力类型： 表压、绝压
量程： 0 - 0.6～120 Mpa间任意可选
输出 ：1.2～1.8 mv/V
综合精度： ±0.1%FS、±0.25%FS、±0.5%FS
非线性： 0.06～0.1%FS
迟滞： 0.02～0.05%FS
重复性： 0.03～0.06%FS
零点温漂： ±0.01%FS/℃
灵敏度温漂： ±0.02%FS/℃
供电： 5～15V DC
输出阻抗： 1.5～3KΩ
绝缘电阻： ≥1000 MΩ/100VDC
工作温度： －40～＋85\125\150℃可选
过载能力： 150%FS
电气连接： 高温引出线
压力连接： M10×1双"O"圈密封或用户
接液材料 膜片：17-4PH过程连接件1Cr18Ni9Ti
相对湿度： 0～95% RH
密封等级 ：IP65