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闭管软着陆扩散系统ClosedTubeSoftLandingDiffusionFurnace产品介绍ProductIntroduction◆闭管磷扩散、硼扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，工艺废气集中收集从尾部定向排出；工艺气体可采用喷淋方式引入到石英管
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