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扩散炉

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称东莞帕萨电子装备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2021/11/12 16:03:21
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东莞帕萨电子装备有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业半导体工艺设备生产厂家,是中国电子工业基础装备的重点骨干企业。 公司主要产品有:半导体技术专用工艺设备,电子元器件专用工艺设备,集成电路工艺设备,太阳能电池片专用工艺设备,LED工艺设备,砷化镓工艺设备,纳米材料工艺设备,磁性材料工艺设备,航空航天及国家单位专用的特殊定制工艺设备,防水工艺设备等,产品种类多达一百多个。东莞帕萨电子装备有限公司技术力量雄厚,各类专业技术人员齐全,专业设计工程师20名,其中机械设计工程师12名,电气工程师8名,工艺工程师2名,所有工程师具有本科以上学历,主要设计工程师在半导体非标设备开发领域具有10年以上经验。东莞帕萨电子装备有限公司具有自主研发、设计和生产各种产品的能力。经过几年的努力,公司已成为专业制造太阳能电池片工艺制造设备,集成电路工艺制造设备,LED工艺制造设备,研究所、高校、航空航天及国家单位专用的工艺设备的重点企业。 东莞帕萨电子装备有限公司专注绿色能源技术及产品研究和开发,拥有一支多学科交叉、梯队合理、年富力强的研究团队。东莞帕萨电子在半导体、工业炉、太阳能及防水等领域具有独立的自主知识产权和技术,并不断开拓创新,勇攀高峰,努力成为行业的者。
蒸发设备
闭管软着陆扩散系统ClosedTubeSoftLandingDiffusionFurnace产品介绍ProductIntroduction◆闭管磷扩散、硼扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,工艺废气集中收集从尾部定向排出;工艺气体可采用喷淋方式引入到石英管内
扩散炉 产品信息
闭管软着陆扩散系统Closed Tube & Soft Landing Diffusion Furnace
产品介绍 Product  Introduction
◆闭管磷扩散、硼扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,工艺废气集中收集从尾部定向排出;工艺气体可采用喷淋方式引入到石英管内。
闭管扩散方式工艺过程*不受外界环境干扰,工艺质量*受控。
◆自动控制温度过程及工艺过程,全部采用进口优质产品。
◆送取片方式:精心设计制造的软着陆装置,全数字化控制,性能更加稳定可靠,其特点平稳可靠、无爬行、SiC浆实现免清洗、
  定位准确、承重量大、使用寿命长。



主要技术指标
工作温度600-1100℃
恒温区长度:1400mm
温区精度(静态闭管测试)800℃<工作温度<1100℃:±0.5℃
600℃≤工作温度≤800℃:±1℃
单点温度稳定性(静态闭管测试)800℃<工作温度<1100℃:±0.5℃/24h
600℃≤工作温度≤800℃:±1℃/24h
温度斜变能力可控升温速度:(600-1100℃)15℃/min;
可控降温速度:(1100~600℃)8℃/min
气体流量设定精度±1%FS
气路系统气密性1×10-7Pa.m³/S  
自动送料装置行程~2000mm,速度:5~1000mm/min,SiC浆承重:20kg
装片数量540片/管(槽间距:4.76mm)            1050片/管(槽间距:2.38mm)
净化台洁净度100级(10000级厂房)
三相五线制度380V±10%,50Hz±10%Hz
冷却水2~4Kgf/cm²,-8L/min
1管、2管、3管、4管、5管分别可选;自动装载机械手可选,设备性能、工艺性能可与进口设备媲美。





关键词:送料装置
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