闭管软着陆扩散系统Closed Tube & Soft Landing Diffusion Furnace
产品介绍 Product Introduction
◆闭管磷扩散、硼扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,工艺废气集中收集从尾部定向排出;工艺气体可采用喷淋方式引入到石英管内。
闭管扩散方式工艺过程*不受外界环境干扰,工艺质量*受控。
◆自动控制温度过程及工艺过程,全部采用进口优质产品。
◆送取片方式:精心设计制造的软着陆装置,全数字化控制,性能更加稳定可靠,其特点平稳可靠、无爬行、SiC浆实现免清洗、
定位准确、承重量大、使用寿命长。

产品介绍 Product Introduction
◆闭管磷扩散、硼扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,工艺废气集中收集从尾部定向排出;工艺气体可采用喷淋方式引入到石英管内。
闭管扩散方式工艺过程*不受外界环境干扰,工艺质量*受控。
◆自动控制温度过程及工艺过程,全部采用进口优质产品。
◆送取片方式:精心设计制造的软着陆装置,全数字化控制,性能更加稳定可靠,其特点平稳可靠、无爬行、SiC浆实现免清洗、
定位准确、承重量大、使用寿命长。

主要技术指标

工作温度 | 600-1100℃ |
恒温区长度: | 1400mm |
温区精度(静态闭管测试) | 800℃<工作温度<1100℃:±0.5℃ 600℃≤工作温度≤800℃:±1℃ |
单点温度稳定性(静态闭管测试) | 800℃<工作温度<1100℃:±0.5℃/24h 600℃≤工作温度≤800℃:±1℃/24h |
温度斜变能力 | 可控升温速度:(600-1100℃)15℃/min; 可控降温速度:(1100~600℃)8℃/min |
气体流量设定精度 | ±1%FS |
气路系统气密性 | 1×10-7Pa.m³/S |
自动送料装置行程 | ~2000mm,速度:5~1000mm/min,SiC浆承重:20kg |
装片数量 | 540片/管(槽间距:4.76mm) 1050片/管(槽间距:2.38mm) |
净化台洁净度 | 100级(10000级厂房) |
三相五线制度 | 380V±10%,50Hz±10%Hz |
冷却水 | 2~4Kgf/cm²,-8L/min |
1管、2管、3管、4管、5管分别可选;自动装载机械手可选,设备性能、工艺性能可与进口设备媲美。 |
