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感应耦合等离子体刻蚀设备(ICP)

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称东莞帕萨电子装备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2021/11/12 16:08:53
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东莞帕萨电子装备有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业半导体工艺设备生产厂家,是中国电子工业基础装备的重点骨干企业。 公司主要产品有:半导体技术专用工艺设备,电子元器件专用工艺设备,集成电路工艺设备,太阳能电池片专用工艺设备,LED工艺设备,砷化镓工艺设备,纳米材料工艺设备,磁性材料工艺设备,航空航天及国家单位专用的特殊定制工艺设备,防水工艺设备等,产品种类多达一百多个。东莞帕萨电子装备有限公司技术力量雄厚,各类专业技术人员齐全,专业设计工程师20名,其中机械设计工程师12名,电气工程师8名,工艺工程师2名,所有工程师具有本科以上学历,主要设计工程师在半导体非标设备开发领域具有10年以上经验。东莞帕萨电子装备有限公司具有自主研发、设计和生产各种产品的能力。经过几年的努力,公司已成为专业制造太阳能电池片工艺制造设备,集成电路工艺制造设备,LED工艺制造设备,研究所、高校、航空航天及国家单位专用的工艺设备的重点企业。 东莞帕萨电子装备有限公司专注绿色能源技术及产品研究和开发,拥有一支多学科交叉、梯队合理、年富力强的研究团队。东莞帕萨电子在半导体、工业炉、太阳能及防水等领域具有独立的自主知识产权和技术,并不断开拓创新,勇攀高峰,努力成为行业的者。
蒸发设备
感应耦合等离子体刻蚀机产品性能及特点◆设备稳定可靠、工艺,主要用于半导体制造工艺中的介质刻蚀、硅刻蚀以及金属刻蚀工艺,也能用于太阳能电池片RIE工艺
感应耦合等离子体刻蚀设备(ICP) 产品信息
感应耦合等离子体刻蚀机
产品性能及特点
◆设备稳定可靠、工艺,主要用于半导体制造工艺中的介质刻蚀、硅刻蚀以及金属刻蚀工艺,也能用于太阳能电池片RIE工艺。
◆可用于2-8寸工艺尺寸。
◆设备采用半导体刻蚀机的成熟技术,实现了对腔室内等离体密度的均匀控制,满足多种材料刻蚀工艺的要求。
◆设备采用模块化设计,整机包括工艺模块(PM: Process Module)和传输模块(TM: Transfer Module)。基片在工艺模块内进行刻
蚀,工艺时,在基片上方产生等离子体,对基片进行刻蚀。传输模块装有全自动机械手取放片,或者安全性高互锁机构,实现基片在
传输模块和工艺模块之间的传输,其传输方式可以根据客户要求选配。
◆具备全自动的软件操作系统/半自动操作,可以根据客户选配
◆主要应用范围:半导体芯片,TFT器件,膜层集成图像化,太阳能电池,银纳米,石墨烯等新材料制备等



主要技术参数

真空室工位单腔、多腔(MAX:7)
反应室极限真空度≤1x10-4Pa
工艺压强范围2~133 Pa
样片尺寸2~8英寸
刻蚀速率:100~3000nm/min
刻蚀均匀性±3%~±5%
RF电源13.56MHZ /2MHZ/4MHZ 可选
样片热/冷却方式Chiller , 可选He冷背吹
操作方式全自动方式、半自动方式


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