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低能离子注入机

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  • 公司名称东莞帕萨电子装备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2021/11/12 16:10:13
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东莞帕萨电子装备有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业半导体工艺设备生产厂家,是中国电子工业基础装备的重点骨干企业。 公司主要产品有:半导体技术专用工艺设备,电子元器件专用工艺设备,集成电路工艺设备,太阳能电池片专用工艺设备,LED工艺设备,砷化镓工艺设备,纳米材料工艺设备,磁性材料工艺设备,航空航天及国家单位专用的特殊定制工艺设备,防水工艺设备等,产品种类多达一百多个。东莞帕萨电子装备有限公司技术力量雄厚,各类专业技术人员齐全,专业设计工程师20名,其中机械设计工程师12名,电气工程师8名,工艺工程师2名,所有工程师具有本科以上学历,主要设计工程师在半导体非标设备开发领域具有10年以上经验。东莞帕萨电子装备有限公司具有自主研发、设计和生产各种产品的能力。经过几年的努力,公司已成为专业制造太阳能电池片工艺制造设备,集成电路工艺制造设备,LED工艺制造设备,研究所、高校、航空航天及国家单位专用的工艺设备的重点企业。 东莞帕萨电子装备有限公司专注绿色能源技术及产品研究和开发,拥有一支多学科交叉、梯队合理、年富力强的研究团队。东莞帕萨电子在半导体、工业炉、太阳能及防水等领域具有独立的自主知识产权和技术,并不断开拓创新,勇攀高峰,努力成为行业的者。
蒸发设备
低能离子注入机一:概述低能离子注入机可以通过离子源产生超低能量的离子束,在经过二极磁铁偏转之后,过滤掉不同荷质比的离子,只留下所需的离子种类和能量的离子束可以穿过
低能离子注入机 产品信息
低能离子注入机
一:概述

低能离子注入机可以通过离子源产生超低能量的离子束,在经过二极磁铁偏转之后,过滤掉不同荷质比的离子,只留下所需的离子
种类和能量的离子束可以穿过。束流在靶室位置的束流强度符合石墨烯等二维材料的注入特性。



二、设备主要技术参数
辐照区域5*5cm
能量范围100eV-2keV
 
束流强度均匀区域平均束流强度为几十nA
离子能量选择电磁铁控制偏转,
离子种类Ar+,He+,N+,H+,O+  (P+可选)
极限真空度<1E-4Pa
工艺真空范围5E-4Pa~5E-3Pa
真空漏率≤6.6×10-7 Pa.l/S
工作电源380v±5% 50HZ

 

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