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石墨烯、碳纳米管材料CVD设备

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称东莞帕萨电子装备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2021/11/12 16:04:46
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东莞帕萨电子装备有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业半导体工艺设备生产厂家,是中国电子工业基础装备的重点骨干企业。 公司主要产品有:半导体技术专用工艺设备,电子元器件专用工艺设备,集成电路工艺设备,太阳能电池片专用工艺设备,LED工艺设备,砷化镓工艺设备,纳米材料工艺设备,磁性材料工艺设备,航空航天及国家单位专用的特殊定制工艺设备,防水工艺设备等,产品种类多达一百多个。东莞帕萨电子装备有限公司技术力量雄厚,各类专业技术人员齐全,专业设计工程师20名,其中机械设计工程师12名,电气工程师8名,工艺工程师2名,所有工程师具有本科以上学历,主要设计工程师在半导体非标设备开发领域具有10年以上经验。东莞帕萨电子装备有限公司具有自主研发、设计和生产各种产品的能力。经过几年的努力,公司已成为专业制造太阳能电池片工艺制造设备,集成电路工艺制造设备,LED工艺制造设备,研究所、高校、航空航天及国家单位专用的工艺设备的重点企业。 东莞帕萨电子装备有限公司专注绿色能源技术及产品研究和开发,拥有一支多学科交叉、梯队合理、年富力强的研究团队。东莞帕萨电子在半导体、工业炉、太阳能及防水等领域具有独立的自主知识产权和技术,并不断开拓创新,勇攀高峰,努力成为行业的者。
蒸发设备
石墨烯、碳纳米管材料CVD设备石墨烯、碳纳米管材料納米材料CVD设备Graphene、Nano-materialsCVD产品介绍该设备主要用于石墨烯、納米材料工艺涂层、多晶硅、碳化硅、扩散、氧化、退火等工艺
石墨烯、碳纳米管材料CVD设备 产品信息
石墨烯、碳纳米管材料CVD设备
石墨烯、碳纳米管材料納米材料CVD设备 Graphene 、Nano-materials CVD

产品介绍 
该设备主要用于石墨烯、納米材料工艺涂层、多晶硅、碳化硅、扩散、氧化、退火等工艺。

主要技术指标
结构型式卧式,单管或多管系统自动控制
适应晶片尺寸2-8″
送取片方式自动悬臂石英推拉舟,配合手动取、放片方式。
温度1050℃
工作温度400℃~850℃连续可调
单点温度稳定性400℃~850℃≤±0.5℃/24h
系统极限真空度优于1Pa
抽速抽限真空时间<15Min
工作压力范围5Pa到1×105Pa连续可调
供电电源三相五线380V±10%,50Hz
冷却水2~4Kgf/cm²,8L/min;

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