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等离子体增强化学气相沉积设备(PECVD)

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称东莞帕萨电子装备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2021/11/12 16:05:53
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东莞帕萨电子装备有限公司是集开发、生产、销售为一体的专业半导体工艺设备生产厂家,是中国电子工业基础装备的重点骨干企业。 公司主要产品有:半导体技术专用工艺设备,电子元器件专用工艺设备,集成电路工艺设备,太阳能电池片专用工艺设备,LED工艺设备,砷化镓工艺设备,纳米材料工艺设备,磁性材料工艺设备,航空航天及国家单位专用的特殊定制工艺设备,防水工艺设备等,产品种类多达一百多个。东莞帕萨电子装备有限公司技术力量雄厚,各类专业技术人员齐全,专业设计工程师20名,其中机械设计工程师12名,电气工程师8名,工艺工程师2名,所有工程师具有本科以上学历,主要设计工程师在半导体非标设备开发领域具有10年以上经验。东莞帕萨电子装备有限公司具有自主研发、设计和生产各种产品的能力。经过几年的努力,公司已成为专业制造太阳能电池片工艺制造设备,集成电路工艺制造设备,LED工艺制造设备,研究所、高校、航空航天及国家单位专用的工艺设备的重点企业。 东莞帕萨电子装备有限公司专注绿色能源技术及产品研究和开发,拥有一支多学科交叉、梯队合理、年富力强的研究团队。东莞帕萨电子在半导体、工业炉、太阳能及防水等领域具有独立的自主知识产权和技术,并不断开拓创新,勇攀高峰,努力成为行业的者。
蒸发设备
等离子体增强化学气相沉积设备(PECVD)产品介绍◆用工控机对工艺时间,温度,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动化控制
等离子体增强化学气相沉积设备(PECVD) 产品信息
等离子体增强化学气相沉积设备(PECVD)
产品介绍
◆用工控机对工艺时间,温度,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动化控制。
◆采用进口压力控制系统,闭环系统,稳定性高。
◆采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门,确保气路气密性。
◆具有完善的报警功能及安全互锁装置。
◆具有超高温报警及欠温报警,MFC报警,反应室压力报警,RF报警,压缩空气压力低报警, N2压力低报警,冷却水流量低报警。
◆现有的PECVD改造升级后具有生长SiO2薄膜的功能,解决了电池组件PID问题。
同时可生长SiNxOy薄膜(背面钝化工艺),可极大地提高电池的转换效率。



类型Type
◆装片数量:384片/舟(125*125) 336片/舟(156*156)
◆净化台洁净度:100级(10000级厂房)
◆自动化程度:自动控制温度及工艺过程。
◆送取片方式:软着陆式,其特点平稳可靠、无爬行、定位准确、承重量大,使用寿命长。


主要技术指标 
每管装片量384片/舟(125*125) 336片/舟(156*156)
工艺指标片内±3%,片间±3%,批间±3%
工作温度200~500℃
温区精度及长度(静态闭管测试)1200mm±1℃
气体流量精度±1%FS
气路系统气密性1×10-7Pa.m³/S
控制全进口自动压力闭环调节系统,精准控制反应真空;40KHz  高频电源;工艺舟软着陆;全数字式控制,完善安全的过程控制保护。
1管、2管、3管、4管分别可选;自动装载机械手可选,设备性能、工艺性能可与进口设备媲美。
 

关键词:不锈钢管件
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