2023-11-22 13:47:54164
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日本HORIBAUVISELPlusIn-Situ在线监控椭偏仪可以很容易的安装在各类反应腔（PECVD、MOCVD、磁控溅射、蒸镀、ALD和MBE），实时监控薄膜沉积或刻蚀过程。
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