2024-05-30 11:04:47277
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- 厂商性质:其他
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该设备用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系沉积。可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜，亦可镀铁磁材料。图示镀膜机为双腔室，共用高真空系统；为避免交叉污染，一个腔室可实现电子枪/
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