2021-10-06 18:47:02237
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上海伯东日本适合大规模量产使用的Hakuto离子蚀刻机20IBE-J,无论使用什么材料都可以用来加工.Hakuto离子蚀刻机20IBE-J配置使用美国KRI20cm考夫曼离子源,蚀刻均匀性:5%,硅片Si刻蚀速率20nm/min,样品台:直接冷却(水冷)
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