2021-10-06 18:48:43267
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上海伯东日本适合中等规模量产使用的Hakuto离子刻蚀机20IBE-C.无论使用什么材料都可以用来加工.蚀刻均匀性:5%,硅片Si刻蚀速率20nm/min,样品台可选直接冷却/间接冷却,0~90度旋转,因此射频角度可以任意调整,蚀刻可以根
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