2021-12-28 14:08:44264
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美国KRI霍尔离子源eH系列紧凑设计,高电流低能量宽束型离子源,提供原子等级的细微加工能力,霍尔离子源eH可以有效地以纳米精度来处理薄膜及表面,多种型号满足科研及工业,半导体应用.
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