2021-07-17 20:20:15378
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TF500/TF600适合*研发和试生产的全功能系统，具有高级工艺能力。系统配置可选择多种腔室尺寸和工艺附件，以精确的符合用户需求。这两个型号的系统都可以安装多个镀膜源，也都支持离子束处理选项。有一系列预进样室（
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