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HMPS-2120SP微波等离子体(CVD)系统

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所  在  地成都市

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更新时间:2023-11-09 10:54:06浏览次数:101次

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HMPS-2120SP微波等离子体(CVD)系统 成都纽曼和瑞微波技术有限公司是专业从事微波能、微波等离子体应用技术研发及其设备生产、具有自主知识产权的企业。公司近年已为中科院、中物院、吉林大学、南京大学、四川大学等、宁波晶钻公司、北京沃尔德公司等科研院所、企业以及国外客户提供了近百台MPCVD设备,凭借产品优异的性能和高质量的服务,公司获得用户广泛认可和好评。
性能特点

微波功率容量大、功率密度高;

沉积面积大、速率快、质量高;

安全可靠,满足单晶、多晶金刚石产业化生产运行;

第三代高稳定固态功率源,新型下馈式大容积碟形放电工作腔;

微波功率0.5~12kW连续可调,稳定度1%;

放电区Φ≥100mm;均匀沉积区Φ≥75mm;

工作气体:H2/CH4/N2/CO2O2Ar;

极限真空度:6×10-4Pa;真空漏率:10-9Pa·m3/s;

工作压力:0.1~30kPa;自动控制;

红外测温:600~1800℃(双色);

PLC和15寸触摸屏多参数自动控制。

技术指标
(1) 产品 HMPS-2120SP
(2) 微波源 12kW/2450MHz固态功率源
(3) 微波传输及耦合系统 BJ-22/环行器/水负载/销钉/模式变换器耦合等
(4) 等离子放电工作腔及基片台系统 Φ500同轴耦合蝶形腔,Φ100mm基片台
(5) 真空系统 600l/s分子泵、8l/s双级直联泵、进口真空测量规管
(6) 气体MFC系统 进口4(5)路质量流量计,过滤器、EP-1/4’VCR接头及管
(7) 测温及基片台冷却 进口(双色)红外测温,进口水温度流量传感器
(8) 控制系统 PLC及触摸屏多参数自动控制操作

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