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超纯水设备助力半导体产业迎来黄金发展期
2021-10-14
随着半导体行业的蓬勃发展,在生产过程中对于用水水质的要求也相当高,如果水中含有杂质,那么杂质原子附近的周期势场受到干扰而形成附加的束缚状态,从而影响半导体的正常工作,可见水质对于半导体行业来说多么重要。超纯水设备通过双级反渗透系统+EDI模块的处理工艺,严格执行国家环保政策,可确保处理后的水稳定达标。
目前国家工业部把电子级水质技术分为四个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、12MΩ.cm、0.5MΩ.cm,使用莱特莱德超纯水设备可以制取上述四个标准的水。莱特莱德超纯水设备中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人值守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比。
超纯水设备工艺流程
自来水进入原水箱,通过原水泵增压,经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器,到达反渗透单元,经两级反渗透过滤进入EDI单元,抛光混床单元,EDI出水进入纯水水箱,此时水质的电阻率是15兆欧,经过抛光混床后,产水电阻率达到18兆欧,但是不进入水箱,直接进入用水点。因为水箱中若出现产水滞留,会影响产水水质。纯水供水设计为循环方式,经纯水供水泵增压,通过紫外线消毒器、抛光混床接入纯水供水管,到达使用点。
超纯水设备各部件功能
1、砂滤器:初步去除水中泥沙、杂质、悬浮物以及其它微粒等降低水的浊度。
2、炭滤器:利用碳的吸附原理吸附水中异色、异味、余氯等。
3、反渗透主机:主要是通过反渗透过滤,达到生产纯水之目的。
4、EDI系统:EDI超纯水系统又称连续电除盐技术,通过阳阴离子膜对阳阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用,并通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生。
莱特莱德超纯水设备配备浓水置换专业技术,防止膜系统受到微生物污染。通过完善的技术,提高系统回收率,降低能耗和运行成本。