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解决传统工艺弊端 莱特莱德为用户提供更优品质的超纯水
2021-10-14
随着半导体行业技术的迅猛发展,对超纯水的纯度的要求和标准也在不断提高,特别是对于线宽较小的集成电路,几个金属离子或灰尘颗粒就足以报废整个电路。作为半导体行业中重要的电子级化学试剂之一,超纯水在半导体和化合物半导体器件制造中得以广泛的应用,其生产制备也得到越来越多的关注。
超纯水,是一般的纯水处理设备很难达到的处理程度。超纯水的传统水处理方式中采用离子交换树脂,其优点在于初投资少,占用的地方少,但缺点就是需要经常进行离子再生,耗费大量酸碱,而且对环境有一定的破坏性。目前市面上常见的超纯水工艺中,离子交换工艺已经被反渗透工艺取代,反渗透工艺无需树脂再生,可实现24小时连续产水,而且制水过程中没有废酸废碱的排放。莱特莱德的超纯水设备中使用搭载Ryperm技术的反渗透设备,提高系统对于硅和硼的去除率,系统出水水质更好。
莱特莱德能够为用户提供更优品质的超纯水,解决了传统超纯水生产过程中能耗大、步骤多、成本高、产品纯度低和产品质量不稳定的问题,可以实现连续化大规模生产,工艺流程简单、配置合理有效、处理效率高,且具有经济环保的优势,确保所产水质可达国标《电子级水》和美标《电子和半导体超纯水质标准》。
工艺流程:
原水进水→UF装置→一级RO→二级RO→TOC装置→EDI系统→氮封系统→TOC装置→脱气系统→靶向离子交换→终端过滤→用水点
莱特莱德采用靶向离子交换系统针对超纯水中难处理的硼及其他离子定向去除,保证出水硼离子能够稳定≤5ppt。系统集成度高,双操作系统,更高系统稳定性。可连续,稳定地生产高纯度的超纯水,无需因树脂再生而停机。设备日常保养维护简单方便,设备耐用,寿命长。
莱特莱德专注电子超纯水领域,是集研发设计、设备制造、工程施工、运营维护为一体的环保解决方案服务商。