详细摘要： 产品描述：OTL-PECVD-1200三温区PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛...

详细摘要： 产品描述：OTL-PECVD-1200 PECVD系统系统，由OTL1200-S小型真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。

详细摘要： 产品描述：VTF-PECVD-1200立式单温区PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，...

详细摘要： 产品描述：OTL-PECVD-1200-1400-1200三台滑竿式真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统、电动拖动机构组成。

详细摘要： 产品描述：OTL-PECVD-1200-1200双温区PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅...