产品型号: | BTF-1200C-PECVD |
实验机理: | PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中:电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简单。 |
技术参数: | 加热区参数 反应腔体尺寸:Φ50,Φ60,Φ80,Φ100 加热区长度:440mm 恒温区长度:200mm(±1℃) 工作温度:1100℃ zui高温度:1200℃ 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能 控温精度:±1℃ 升温速率:20℃/min 炉门结构:开启式 工作电源:AC220V /50HZ 额定功率:3KW |
真空参数 采用KF25系列波纹管和手动挡板阀; 真空度可达10-3torr; 数显真空测试仪可直观的显示数值。 | |
流量控制参数 内部装有高精度质量流量计可准确的控制气体流量; 气体流量范围可选,误差为±1.5%; 一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀; 不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入。 | |
射频电源与匹配器 电源:单相50/60Hz 220v±10% 加热(功率)电源:2.5KW,25A 控制柜电源空气开关:32A空气开关 薄膜生长室温度:室温~ 1200℃ 射频频率:13.56MHz 射频功率输出范围:5~500W | |
细节展示: |
|
外型尺寸: | 炉体:940×380×520mm 供气及真空系统:600×600×600mm |
净重: | 130Kg |
认证和: | 号:ZL201320052532.0 (产品,防伪必究) |
(贝意克) BEQ公司是应材料界老顾客要求成立的专业致力于材料制备设备的研发、生产型企业。公司拥有多名海归技术专家,顾问。可在材料研究的各个领域为您排忧解难,公司产品设计*,注重细节,质量可靠,售后无忧。广泛应用于新能源材料,金属材料,磁性材料,半导体材料,陶瓷材料,电化学,薄膜材料,CVD,MOCVD,PECVD ,UPECVD,JPECVD,石墨烯,硅纳米管,纳米线,蓝宝石(LED),光学材料,齿科等研究领域。
为更好地服务于顾客,我公司筹建了多功能实验室,满足客户的各种常规实验要求,并有专业的技术团队为您提供更*的建议和方案,让您能*的选择到Z适合您实验的设备。
贝意克(BEQ)以客户的需求为使命,为材料学研究者提供Z适合,*的专业方案。
Best Equipment (贝意克较好的设备)将是我们一直追求的目标。为客户解决全套方案是贝意克(BEQ)人的追求!
感动式服务赢市场,专业性理念立品牌。是贝意克(BEQ)的立业之本!
以人为本,用人求德。是贝意克(BEQ)用人原则!
实验电炉,干燥箱,压力机等
产地 | 国产 | 产品新旧 | 全新 |
---|
辉光等效等离子PECVD系统 产品信息
在找 辉光等效等离子PECVD系统 产品的人还在看