MProbe MSP显微反射膜厚仪
大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如:氧化物,氮化物,光刻胶,高分子聚合物,半导体(硅,单晶硅,多晶硅),半导体化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬涂层(碳化硅,类金刚石炭),聚合物涂层(聚对二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺)。
测量范围: 1 nm -800um
波长范围: 200 nm -1700 nm
光斑直径:200um-4um
MProbe MSP显微反射膜厚仪适用于实时在线测量,多层测量,非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
测量指标:薄膜厚度,光学常数
界面友好强大: 一键式测量和分析。
实用的工具:曲线拟合和灵敏度分析,背景和变形校正,连接层和材料,多样品测量,动态测量和产线批量处理。
测量100nm二氧化硅薄膜,40um光斑直径,波长范围:200-1000nm:
欢迎选购本公司产品,铂悦仪器自 2004年成立以来,凭借与世界各大仪器的战略合作关系,以及不断优化公司自身经营管理,提高服务质量,成为中国国内的仪器供应商。