半导体精密充氮高温试验箱

一、 设备名称：精密充氮高温试验箱

型号：LS-RUL-60CN

二、技术指标及验收标准

1.性能（为空载时,其室温在25℃）

1.1 温度范围：RT+10~200℃

1.2 温度控制稳定度：±0.5℃

1.3 分布均度：±1%(按GB标准测试9点温度)

1.4 升温时间：由常温升至200℃约需40分钟

1.5 内部尺寸：W60*H60*D60cm

1.6 外部尺寸: W110*H97*D83

1.7 氮气调节范围：0~30L/min

1.8 设备表面温度≤室温+15℃

1.9电源：三相380V 50Hz，加热器功率3 KW 风机功率550W

1.10验收以具有相关资质的第三方检测机构出具的检测报告为准

三.详细配置:

1 内箱材质: 不锈钢板(SUS #304光面1.2mm厚),不锈钢全周焊.

2外箱材质: 特殊钢板 + 粉体烤漆(1.2mm厚)

3 保温材质: 高密度之玻璃纤维棉

4 排气孔 : 4”排气孔(位置设备左侧)

5 加 热 器:

a.采用SUS316不锈钢加热器.

b.*独立系统,不影响控制线路.

c.温度控制输出功率均经由微电脑演算,以达高精度与高效率之用电效益.

6 送风循环系统:

a.采用风扇马达不锈钢加长轴心 + 耐高低温之不锈钢风叶式结构循环风扇,以达强制对流水平扩散循环.

b.入排风口手调控制阀.

7 箱门:单片门，左开，把手在右手边

a.平面嵌入式把手

b.铰链:SUS #304

8 温度控制器: 中国台湾CAHO

a.温度传感器采用 DIN PT-100Ω (白金感应)控制器分辨率为：0. 1℃

b.温度控制均采用 P.I.D.＋ S.S.R.系统同步协调控制，可提高控制组件与界面使用之稳定性及寿命。

c.按键式设定、数字直接显示

d.具有 P.I.D.自动演算之功能，可减少人为设定时所带来之不便

e.自动超温保护功能

f.停电记忆装置5年

g.定时功能 1min~999H

9 控制面板:

a.照光式压扣开关二只

b.超温保护开关一只

c.通电指示灯

d.定时器一组

e.故障指示灯一只

10.气氛控制系统：

a) N₂入气手动阀

b) N₂入气调压阀

c) N₂入气浮子流量计(100L/min)

d) N₂入气电磁阀

e) 入气调和配管系统

11 安全保护装置:

a.超温保护开关1组

b.动力保险丝一只

c.控制回路保险丝二只

d.循环马达过载保护

c.无熔丝开关

12.其他附属配件:

12.1测温传感器: T Type 1支

12.2 试料置放架:

a.栅栏式置物架2片

b.可调整间距50mm置物架轨道2组

c.迫紧：耐高温之高张性硅胶发泡迫紧