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美国 KRI 射频离子源 RFICP 380

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称伯东企业(上海)有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 厂商性质代理商
  • 更新时间2021/10/6 17:03:55
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伯东公司成立于1953 年,范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界水平的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。

上海伯东代理品牌包含:德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机,离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。

上海伯东作为真空品牌**代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,* 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师;拥有*的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。

高低温冲击试验箱,分子泵,原子力显微镜,包装胶盒
上海伯东代理美国考夫曼KRI 射频离子源 RFICP 380 属于大面积射频离子源, 离子束流: 1500 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.离子束可聚焦, 平行, 散射.采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长.离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/......
美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 产品信息

美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 产品特性:

美国 KRI 射频离子源 RFICP 380 特性:

1. 大面积射频离子源

2. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求

3. 采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求

4. 离子束流: >1500 mA

5. 离子动能: 100-1200 V

6. 中和器: LFN 2000

7. 采用自动控制器, 一键自动匹配

8. RF Generator 可根据工艺自行选择离子浓度, EX: 1kW or 2kW

9. 离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装

10. 栅极材质钼和石墨, 坚固耐用

11. 通入气体可选 Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, others

关键词:控制器
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