美国 KRI 射频离子源 RFICP 100 技术参数:
伯东 KRI 射频离子源 RFICP 100 技术参数:
型号 | RFICP 100 |
Discharge | RFICP 射频 |
离子束流 | >350 mA |
离子动能 | 100-1200 V |
栅极直径 | 10 cm Φ |
离子束 | 聚焦, 平行, 散射 |
流量 | 5-30 sccm |
通气 | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 | < 0.5m Torr |
长度 | 23.5 cm |
直径 | 19.1 cm |
中和器 | LFN 2000 |
* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量