CD1836 Nanofics低压等离子表面处理设备 技术参数:
反应舱 | 材料: 铝 |
真空度测量 | 皮拉尼真空计 |
真空泵 | 干式真空泵泵组 |
频射发生器 | 根据客户应用需求定制 |
控制系统 | PLC可实现下列功能: |
电源 | 380V AC, 三相, 50Hz, 63A |
反应气体 | 一个气体输入端口, 含气体流量控制器(MFC) |
气体输入 | 直径1/4英寸(6.45mm) 管道; 输入压力: 1Bar |
尾气排放 | 直径28mm 输出端口 |
性能 | 急停开关; 真空泵保护锁; 高温保护锁; CE认证。 |
伯东公司成立于1953 年,范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界水平的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。
上海伯东代理品牌包含:德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机,离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为真空品牌**代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,* 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师;拥有*的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。
反应舱 | 材料: 铝 |
真空度测量 | 皮拉尼真空计 |
真空泵 | 干式真空泵泵组 |
频射发生器 | 根据客户应用需求定制 |
控制系统 | PLC可实现下列功能: |
电源 | 380V AC, 三相, 50Hz, 63A |
反应气体 | 一个气体输入端口, 含气体流量控制器(MFC) |
气体输入 | 直径1/4英寸(6.45mm) 管道; 输入压力: 1Bar |
尾气排放 | 直径28mm 输出端口 |
性能 | 急停开关; 真空泵保护锁; 高温保护锁; CE认证。 |
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