CD400 Nanofics低压等离子表面处理设备 技术参数:
反应舱 | 材料: 铝 |
真空度测量 | 皮拉尼真空计 |
真空泵 | 干式真空泵泵组 |
频射发生器 | 根据客户应用需求定制 |
控制系统 | PLC可实现下列功能:
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电源 | 380V AC, 三相, 50Hz, 40A |
反应气体 | 两个气体输入端口, 含气体流量控制器(MFC) |
反应单体 | 独立液态单体输入系统 |
气体输入 | 直径1/4英寸(6.45mm) 管道; 输入压力: 1Bar |
尾气排放 | 直径28mm 输出端口 |
性能 | 急停开关; 真空泵保护锁; 高温保护锁; CE认证. |