卧式单体中高温集热管镀膜设备

　　一、设备特点：

　　该设备为Φ1200x6000水冷真空腔室，配移动式公自转工装架，工装架装载量10-20只，公自转工装架点对点自动运行；设备带偏压清洗及辅助沉积功能，工艺加热温度300℃；设备配5只圆柱靶或内装平面靶；可镀Au、Ag、AL、Mo、Cu、Ti等多种底层金属，及由AL、Ti、Si等构成的多层陶瓷膜；系统满足光干涉膜、金属陶瓷膜等多种选择性吸热膜的研制和小批生产。

　　二、性能参数：

　　1. 工件长度：长度规格2米、4米

　　2. 不锈钢金属管直径范围：Φ70mm-120mm

　　3. 吸收率≥95%

　　4. 发射率 ≤9%（300℃）

　　5. 镀膜方式：磁控溅射沉积选择性吸收膜

　　6. 设备产能：2万支/年（20只装）

　　7. 极限真空：8x10-4Pa，本底真空：3.2x10-3Pa；

　　8. 工艺加热温度：300℃   铠装加热组件；

　　9. 磁控靶：5个；

　　10. 磁控电源：直流  1套     中频   2套；

　　11. 偏压电源：1套；

　　控制系统：PC+PLC控制模式，自动/手动/修理调试功能转换；多种工艺参数储存，多种互锁安全保护；