2024-05-30 10:59:12170
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- 厂商性质:其他
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- 所在地区:北京市
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该设备为Φ1200x6000水冷真空腔室，配移动式公自转工装架，工装架装载量10-20只，公自转工装架点对点自动运行；设备带偏压清洗及辅助沉积功能，工艺加热温度300℃；设备配5只圆柱靶或内装平面靶；可镀Au、Ag、AL、Mo
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