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招远普斯玛等离子技术有限公司
台式小型机,PLC人机自动控制,简单易用,用于实验室及小批量工业生产中材料表面清洗、
刻蚀、活化等工艺。
◆ 外形尺寸
570(W)×420(D)×740(H)mm
◆ 仓体结构(不锈钢,约20升)
420(W)×270(D)×170(H)mm
◆ 电极面积
250(W) ×190(D) mm,3层
RIE or DP模式自动转换
◆ 等离子发生器(韩国KM)
频率13.56MHZ,功率0-500W连续调节,自动阻抗匹配
◆ 控制系统
触摸屏(7寸)+PLC单步法全自动控制 ,采用欧姆龙、西门子等世界电器元件,
性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统
德国莱宝(Leybold)真空泵 D30C (37m3/h)
进口气动角阀、充气阀,德国(Inficon)压力传感器
◆ 压力控制
PID闭环自动稳压控制
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