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招远普斯玛等离子技术有限公司
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卷材等离子处理系统,触摸电脑+PLC多步流程全自动控制,全电路检测,用于PTFE/PI薄膜、FPC柔性电路板、电池隔膜等卷筒材料清洗、刻蚀、活化、接枝处理,可选择中频、射频、微波等离子处理模式。
◆ 外形尺寸（不包括报警灯）
1903（W）×980（D）×2075（H）mm
◆ 仓体结构（铝，约800升）
600（W）×840（D）×800（H）mm
◆ 处理材料
材料直径：zui大400mm ，材料宽度：100mm
◆ 等离子发生器（美国MKS）
频率13.56MHZ,功率0-2500W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
◆ 控制系统
触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
◆ 真空系统（真空压力PID闭环自动控制）
日本爱发科（ULVAC）机械真空泵 VDN901 （23L/S） x2台（前级泵可选配爱德华干泵）
英国爱德华罗茨泵 EH1000（280L/S）
中国台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器
◆ 充气系统
美国MKS高精度电子质量流量计（两路气体配制）、针阀
美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件
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