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招远普斯玛等离子技术有限公司


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微波等离子清洗机

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品       牌

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所  在  地烟台市

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更新时间:2023-11-25 13:47:24浏览次数:133次

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经营模式:生产厂家

商铺产品:5条

所在地区:山东烟台市

联系人:张经理 (经理)

产品简介

WB300采用高密度微波等离子技术,用于半导体生产中晶圆的清洁和等离子体预处理,微波等离子高度活性、高效,且不会对电子装置产生离子损害。  

详细介绍

  • 外形尺寸(不包括报警灯)

     1000(W)×800(D)×1750(H)mm 

  •   仓体结构(石英,约20升)

  • Φ 245mm ×400Lmm  
  • 等离子发生器(德国)

     频率2.45GHZ,功率0-1000W连续调节,可连续长时间工作

      控制系统

    触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

      真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

     英国爱德华斡旋式干泵 GV40

    美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器     

     中国台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管 

      充气系统

     美国MKS高精度电子质量流量计(2路气体配制)

     美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀

     日本SMC及CKD高真空气阀组件

     
 

关键词:传感器 减压阀
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