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详细介绍
详情介绍：
产品特点
1：此款镀膜仪配置有两个靶枪：一个靶枪配套的是射频电源，用于非导电靶材的溅射镀膜；一个靶枪配套的是直流电源，用于导电材料的溅射镀膜
2：该镀膜仪可以制备多种不同材料的薄膜，应用非常广泛。
3：该镀膜仪体积较小，且配备有触摸屏控制面板，操作方便。
产品参数
电源 | 220V 50Hz |
功率 | 2000W(含真空泵） |
极限真空度 | 10-6torr |
工作温度 | 室温~500℃ |
靶枪数量 | 2个（可选配其他数量） |
靶枪冷却方式 | 水冷 |
靶材尺寸 | Φ50mm，厚度0.1~5mm |
直流溅射功率 | 500W |
射频溅射功率 | 300W/500W |
样品台尺寸 | 140mm |
样品台转速 | 1~20rpm可调 |
保护气体 | Ar、N2等惰性气体 |
进气气路 | 2路气路，质子流量计控制，每个流量为100sccm |
炉体尺寸 | 500×560×660mm |
整机尺寸 | 1300×660×1200mm |
重量 | 160kg |
可选配件 | Au、In、Ag、Pt等 |
配件 | 直流电源控制系统1件；射频电源控制系统1件； 膜厚仪1套；分子泵1台；冷水机1台；冷却水管（φ6mm） 靶材（不锈钢靶、陶瓷靶） |
包装 | 三合板木质包装 |
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