详细介绍
3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪应用领域:
这款紧凑型3靶磁控溅射镀膜机专为在氧化物单晶基板上涂覆氧化物薄膜而设计,通常不需要高真空设置。
3靶紧凑型磁控溅射镀膜仪技术规格:
输入功率 | 单相220 VAC, 50 / 60 Hz 1000 W (包括真空泵和水冷机组) 如果电压为110 V,可以在CYKY订购1500 W变压器 |
电源 | 包括13.5 MHz,100 W带手动匹配的RF发生器并连接到溅射头。 负载范围:0 - 80Ω可调,调节范围:-200j - 200j可调。 可旋转开关可一次激活一个溅射头。溅射头可以“在等离子体中"切换(在多层工艺期间不会破坏真空和等离子体)。 使用直流电源,涂膜机可轻松修改为1“直流溅射源,用于金属薄膜沉积,可实现三个直流,一个射频/两个直流和两个射频/一个直流溅射头配置 。 |
磁控溅射头 | 包括三个带水冷套的1“磁控溅射头,并通过快速夹具插入石英腔。 法兰上安装了一个手动操作的挡板。 包括一台10 L / min数控循环冷水机组,用于冷却溅射头。 |
溅射靶 |
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真空室 |
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样品架 |
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真空泵 |
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尺寸 | 540 mm L×540 mm W×1000 mm H |
净重 | 60 kg |
售后服务 | 货物发出后,CYKY提供一年免费售后服务,服务方式限于电话指导、视频指导、邮件指导、配件邮寄等远程。如需要派人现场服务,客户需要支付服务人员差旅费和出差期间的工资。 |
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