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Hakuto 离子蚀刻机 10IBE

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称伯东企业(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质代理商
  • 更新时间2021/10/6 17:00:36
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伯东公司成立于1953 年,范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界水平的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。

上海伯东代理品牌包含:德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机,离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。

上海伯东作为真空品牌**代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,* 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师;拥有*的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。

高低温冲击试验箱,分子泵,原子力显微镜,包装胶盒
上海伯东日本适合小规模量产使用和实验室研究的 Hakuto 离子蚀刻机 10IBE.蚀刻均匀性: 5%, 硅 Si 刻蚀速率20 nm/min, 样品台: 直接冷却(水冷)0~90 度旋转.Hakuto 离子蚀刻机 10IBE 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源产生轰击离子;终点检出器采用 Pfeiffer 残余气体质谱分析仪监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Hakuto 离子蚀刻机 10IBE 产品信息

Hakuto 离子蚀刻机 10IBE 产品优势:

Hakuto 离子蚀刻机 10IBE 主要优点
1. 干式制程的微细加工装置, 使得在薄膜磁头, 半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用.
2. 物理蚀刻的特性, 无论使用什么材料都可以用来加工, 所以各种领域都可以被广泛应用.
3. 配置使用美国考夫曼离子源.
4. 射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状.
5. 基板直接加装在直接冷却装置上, 所以可以在低温环境下蚀刻.
6. 配置公转自转传输机构, 使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面.
7. 机台设计使用自动化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生产过程.

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